Kristall-Mikrowaage
Eine Kristallmikrowaage, oftmals auch nach der häufigsten Form QCM (quartz crystal microbalance) genannt, bezeichnet einen piezoelektrischen BAW-Resonator der durch Anlegen einer Wechselspannung in Resonanz versetzt wird. Wird auf einen solchen Resonator eine Masse aufgebracht, wie zum Beispiel durch aufdampfen oder sputtern einer dünnen Schicht, verändert sich die Resonanzfrequenz. Aus dieser Frequenzverschiebung kann umgekehrt die aufgebrachte Masse ermittelt werden. Technisch werden Kristall-Mikrowaagen bevorzugt zur Bestimmung von geringen Schichtdicken in Beschichtungsanlagen eingesetzt

Ladungsverstärker
Elektronische Komponente zur Umwandlung der piezoelektrischen Polarisationsladung eines piezoelektrischen Sensors in ein prozessierbares (oftmals Spannungs-) Signal.

Messgerät
Der Begriff des Sensors und der des Messgerätes werden in der technischen Literatur klar voneinander abgegrenzt: Der Sensor misst bestimmte Eigenschaften während das Messgerät die so ermittelten Daten verarbeitet

Messkette
Als Messkette wird in der Regel die funktionale Einheit von Sensor und zugehöriger Elektronik bezeichnet. Für eine piezoelektrische Messkette ist dies eine Einheit bestehend aus piezoelektrischem Sensor, Ladungsverstärker und ggf. Trennverstärker. Die Messkette endet dabei nach gängigem Sprachgebrauch an der Schnittstelle, an der das Signal in das Messgerät oder in die Datenerfassung zur weiteren Bearbeitung übergeben wird

Piezoelekrischer Aktor
Der indirekte piezoelektrische Effekt wird für sogenannte Aktoren oft auch als Aktuatoren bezeichnet benutzt. Dabei werden elektrische Impulse durch die Verformung eines oder mehrerer Piezo-Elemente in präzise Bewegungen umgesetzt. Technisch wird dieser Effekt für Piezo-Lautsprecher, sog. Braillezeilen für Blinde oder Einspritzventile für Dieselmotoren verwendet. Da der Piezoeffekt immer auf bestimmte Richtungen des Materials festgelegt ist, müssen für dreidimensionale Bewegungen mehrere Piezo-Elemente so kombiniert werden, dass sie in verschiedene Richtungen wirken

Piezoelektrischer Effekt
Der direkte piezoelektrische Effekt bezeichnet die Eigenschaft von Materialien unter Druck eine elektrische Polarisation zu erzeugen. Umgekehrt kann durch das Anlegen einer äußeren Spannung eine Verformung eines piezoelektrischen Materials erzwungen werden. Dies wird als inverser piezoelektrischer Effekt, indirekter piezoelektrischer Effekt oder auch als Piezostriktion bezeichnet

Piezoelektrischer Sensor
Sensoren, die auf Basis des direkten piezoelektrischen Effekts basieren werden oftmals als piezoelektrische Sensoren bezeichnet. Diese elektromechanischen Sensoren werden zur Messung unterschiedlicher physikalischer Größen verwendet, die gebräuchlichsten sind piezoelektrische Drucksensoren, piezoelektrische Kraftsensoren oder piezoelektrische Beschleunigungssensoren, um nur einige zu nennen. Strenggenommen gehörten in diese Klasse aber auch Sensoren die auf dem indirekten piezoelektrischen Effekt basieren wie beispielsweise Kristall-Mikrowaagen, diese werden meist aber den Resonatoren oder BAW-Sensoren zugeordnet

Sensor
Ein Sensor (abgeleitet vom lateinischen sensus: "Gefühl") ist ein Bauteil, das bestimmte physikalische oder chemische Eigenschaften (wie z.B. Temperatur, Druck, Beschleunigung, Kraft) qualitativ oder als Messgröße quantitativ erfasst. Für Sensoren werden vielfach auch andere Begriffe wie Transmitter oder Messwertaufnehmer (v.a. als Beschleunigungsaufnehmer oder auch Druckaufnehmer) bezeichnet

Transmitter
Als Transmitter werden Geräte bezeichnet, die Signale von z.B. Drucksensoren oder Druckaufnehmern in andere, zumeist genormte Signale (4-20mA,0-10V) umsetzen. Vielfach wird im allgemeinen technischen Sprachgebrauch keine Unterscheidung zwischen diesen Begriffen vorgenommen. Im Fall der piezoelektrischen Messtechnik kommt dem Ladungsverstärker die Funktion des Transmitters zu